壓電陶瓷進行調整納米級分辨率
在無法接近的位置上進行調整的能力得到了大大簡化,甚至比這還要簡單,因為基于壓電陶瓷的墊片可以承載重達幾頓的負載。需要時,有源墊片還能與傳統壓電陶瓷促動器組合,用于動態振動補償等。典型應用包括在測量或掃描過程中重新調整焦平面以及在測量技術或材料加工中控制激光束等。找到了這一問題的解決方案,開發出了壓電陶瓷“墊片”。當它們被安裝在機器中后,有源墊片不僅可以隨時重新調整兩個部件之間的間隙,還能達到納米級精度。
具有納米級分辨率和長期穩定性的有源墊片:用基于壓電陶瓷的“墊片”進行調整,基于壓電陶瓷的墊片在機器制造時被嵌入機器中;提供用于這一調整過程的易用電源以及匹配控制。如果精密機器內部兩個部件之間的目標或實際尺寸發生了改變,例如在半導體制造、測量應用或檢驗系統中,重新調整也許就有必要了。例如,當機器在客戶場地被啟動時,初始設定、漂移或公差變化需要在安裝后進行補償。